電子特種氣體種類多,應用領域廣泛。 電子特種氣體在半導體整個制程應用中成本占比僅為 5%~6%,但是由于其品種繁多,在半導體制程工藝中覆蓋廣泛,因此成為衡量半導體技術的核心產品。根據有關數據顯示,中國特種功能電子氣體市場規模逐年增長,僅2016年,中國特種電子氣體市場規模約為98億元左右。值得關注的是,從產業鏈以及技術層面歐美國家占據較好的地位。特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。對于單元高純氣體,根據現已收集到的文獻,匯總起來共有227種,可分成五個類別。
電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業,由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體。為了提高氣體穩定性和保質期,天然1氣公司已經開發出各種技術,以1小化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。工業上,把常溫常壓下呈氣態的產品統稱為氣體產品.氣體產品種類繁多,大致可以分為一般工業氣體和特種氣體兩大類.一般工業氣體產銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產銷量雖小,但根據不同的用途。
特種氣體是工業氣體中的一個新興門類,是隨著近年來工業、科學研究、自動 化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發展而發展起來的。特種氣體的儲存注意事項:高壓容器內,存有內容物時,無論內容量多少,在該容器儲存場地2m內,嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環境溫度≤40℃為佳。特種氣體的重要性:電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多,用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性,
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